[实用新型]同步移相菲索干涉仪无效
| 申请号： | 200820151412.5 | 申请日： | 2008-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN201251428Y | 公开（公告）日： | 2009-06-03 |
| 发明（设计）人： | 曾爱军;郭小娴;江晓军;谢承科;黄惠杰;王向朝 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02;G01B11/24;G01J9/02;G02B1/10;G02B5/30 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种同步移相菲索干涉仪，其构成是沿所述的线偏振激光光源的光束前进方向上，依次是所述的二分之一波片、聚焦透镜、光阑、分束器、第一准直透镜、双折射薄膜型标准镜，所述的光阑位于所述的聚焦透镜的后焦点和所述的第一准直透镜的前焦点，在所述的分束器的垂直于上述光束前进方向的方向上依次是第二准直透镜与同步移相器，待测面处于所述的线偏振激光光源的光束经过所述的双折射薄膜型标准镜的出射方向上，所述的双折射薄膜型标准镜是一块标准平板并在该标准平板的入射面有增透膜，出射面具有双折射薄膜和增透膜，所述的双折射薄膜的相位延迟量为90°。本实用新型具有无原理性回程误差、测量距离远、结构简单、易于操作的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 同步 移相菲索 干涉仪 | ||
【主权项】：
1、一种同步移相菲索干涉仪，特征在于其由线偏振激光光源(1)、二分之一波片(2)、聚焦透镜(3)、光阑(4)、分束器(5)、第一准直透镜(6)、双折射薄膜型标准镜(7)、第二准直透镜(8)与同步移相器(9)组成，其位置关系是：沿所述的线偏振激光光源(1)的光束前进方向上，依次是所述的二分之一波片(2)、聚焦透镜(3)、光阑(4)、分束器(5)、第一准直透镜(6)、双折射薄膜型标准镜(7)，所述的光阑(4)位于所述的聚焦透镜(3)的后焦点和所述的第一准直透镜(6)的前焦点，在所述的分束器(5)的垂直于上述光束前进方向的方向上依次是第二准直透镜(8)与同步移相器(9)，待测面(10)处于所述的线偏振激光光源(1)的光束经过所述的双折射薄膜型标准镜(7)的出射方向上，所述的双折射薄膜型标准镜(7)是一块标准平板(701)并在该标准平板(701)的入射面有增透膜(703)，出射面具有双折射薄膜(702)和增透膜(704)，所述的双折射薄膜(702)的相位延迟量为90°。
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