[实用新型]基于金属层反射的反射式石英偏振分束光栅无效
| 申请号： | 200820152081.7 | 申请日： | 2008-08-18 |
| 公开（公告）号： | CN201242599Y | 公开（公告）日： | 2009-05-20 |
| 发明（设计）人： | 周常河;郑将军 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18;G03F7/00 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种用于1550纳米波段的基于金属层反射的反射式石英偏振分束光栅，特点在于其是由的石英基底、银层、石英连接层和矩形光栅一体构成，该矩形光栅的周期为880纳米，占空比为0.5，银层的厚度为100纳米，光栅刻蚀深度为950纳米～1276纳米，连接层的厚度为337纳米～375纳米。本实用新型基于金属层反射的反射式石英偏振分束光栅在1490-1601波段的宽带上，TE偏振的-1级反射衍射效率和TM偏振的0级反射衍射效率均大于94％，TE偏振的-1级消光比大于100，TM偏振的0级消光比大于40，该光栅可以用作C+L波段的偏振分束器件。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 金属 反射 石英 偏振 光栅 | ||
【主权项】：
1、一种用于1550纳米波段的基于金属层反射的反射式石英偏振分束光栅，其特征在于由石英基底(1)、银层(2)、石英连接层(3)和矩形光栅(4)一体构成，该矩形光栅(4)的周期为880纳米，占空比为0.5，银层(2)的厚度为100纳米，光栅刻蚀深度为950纳米～1276纳米，石英连接层(3)的厚度为337纳米～375纳米。
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