[实用新型]多重气流金属有机物化学气相沉积设备的反应腔体

摘要

一种多重气流金属有机物化学气相沉积设备的反应腔体，主要包括三路径向反应气体进气管道、喷淋口、喷淋冷却腔、载片盘、反应腔、反应腔冷却腔、加热器、整流罩。其特征为：多路反应气体进气管道从反应腔顶端接入，反应腔上部设有喷淋口与喷淋冷却腔，下方设有载片盘，水平方向的气体层流和竖直方向的喷淋气体相结合形成气流流场，载片盘下部设有加热器与排气口。本实用新型的优点是反应腔具有水平方向的层流和竖直方向的喷淋相结合的气流流场，既能使反应气体混合均匀又能减少喷淋气体反弹回流造成局部湍流，同时又有效的抑制了反应室内的热涡流，提高材料外延生长的均匀性，解决了腔体内附着颗粒的清洗问题。

主权项

1. 一种多重气流金属有机物化学气相沉积设备的反应腔体，主要包括：反应气体A进气管道(1)、反应气体B进气管道(2)、反应气体C进气管道(3)、反应气体D进气管道(4)、喷淋口(8)、喷淋冷却腔(6)、喷淋冷却液进口(16)、喷淋冷却液出口(15)、载片盘(10)、衬底(11)、反应腔(14)、反应腔冷却腔(21)、反应腔冷却液进口(18)、反应腔冷却液出口(19)、整流罩(20)、排气口(13)、缓冲腔(7)、腔体外壳(17)、缓冲挡板(5)、支承轴(9)、加热器(12)，其特征在于所述反应气体A进气管道(1)从反应腔(14)顶端接入，反应腔(14)的下方设有载片盘(10)，载片盘(10)的上部设有喷淋口(8)与喷淋冷却腔(6)，反应气体B进气管道(2)，反应气体C进气管道(3)及反应气体D的进气管道(4)同轴包裹在反应气体A进气管道(1)的外壁上，反应气体B进气管道(2)出口位于反应气体A出口上方，反应气体C进气管道(3)出口位于反应气体B出口上方，反应气体D的出口位于缓冲腔(7)顶部，其中心轴线的周边，喷淋冷却液进口(16)与喷淋冷却液出口(15)安装于反应腔(14)与缓冲腔(7)之间，加热器(12)与反应腔(14)由整流罩(20)隔开，腔体外壳(17)内设有一层反应腔冷却腔(21)，载片盘(10)下部设有加热器(12)，排气口(13)位于反应腔(14)的底部。