[实用新型]厚度测量仪有效
| 申请号： | 200820154302.4 | 申请日： | 2008-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN201293627Y | 公开（公告）日： | 2009-08-19 |
| 发明（设计）人： | 张新军;陈涛 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | G01B5/06 | 分类号： | G01B5/06 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人： | 屈 蘅;李时云 |
| 地址： | 2012*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种厚度测量仪，它包括：基座、测量转台、测量表；基座表面安装有相对基座可转动的测量转台；测量表具有测试头、表盘及操作钮，测试头垂直于所述测量转台所在的平面。该厚度测量仪还包括支架。支架由固定杆和横杆组成，横杆通过穿孔连接块连接固定杆；测量表安装在横杆上，固定杆安装于基座。本实用新型提供的厚度测量仪是在测量转台上放置待测物品—晶圆，因此可解决传统厚度测量仪测量的晶圆尺寸受限的问题。转动测量转台及调节横杆相对固定杆的角度和位置，可快捷地实现测量转台上晶圆不同位置厚度的测量，提高测量效率。 | ||
| 搜索关键词： | 厚度 测量仪 | ||
【主权项】：
1、一种厚度测量仪，其特征是，包括：基座、测量转台、支架和测量表；所述测量转台安装在所述基座表面并且可相对基座转动；所述测量表通过支架连接至基座，且所述测量表包括垂直于所述测量转台表面设置的测试头。
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