[实用新型]一种清腔刷头无效
| 申请号： | 200820154599.4 | 申请日： | 2008-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN201296780Y | 公开（公告）日： | 2009-08-26 |
| 发明（设计）人： | 李淼 | 申请（专利权）人： | 上海蓝光科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/56 | 分类号： | C23C16/56 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 201203上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种清腔刷头，用于清理MOCVD设备喷头表面的残痕。该清腔刷头包括轮毂及沿轮毂宽度方向上设置的软刷毛，其中，所述轮毂内设有支撑，该支撑上设有与所述软刷毛平行的硬刷毛。这样在清理的过程中轻轻用力后，支撑上的硬刷毛与欲清洗物接触并将其上的残屑刷下，随后轮毂上的软刷毛会将其轻轻刷走并限制在整个清腔刷头内部，通过清腔刷头后端接的抽滤装置就可以将残屑干净、彻底的清理。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 清腔刷头 | ||
【主权项】：
1. 一种清腔刷头，用于清理M0CVD设备喷头表面的残痕，该清腔刷头包括轮毂及沿轮毂宽度方向上设置的软刷毛，其特征在于：所述轮毂内设有支撑，该支撑上设有与所述软刷毛平行的硬刷毛。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
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C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
