[实用新型]磁流体冷却结构及相应的磁流体密封装置有效
申请号: | 200820155225.4 | 申请日: | 2008-11-11 |
公开(公告)号: | CN201297390Y | 公开(公告)日: | 2009-08-26 |
发明(设计)人: | 王刚;高文良;王春华;周江 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
主分类号: | F16J15/43 | 分类号: | F16J15/43 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人: | 屈 蘅;李时云 |
地址: | 2012*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型揭露了一种磁流体冷却结构及相应的磁流体密封装置,于磁流体密封装置的传动轴内增设冷却系统,以扩大冷却面积,进而有效的解决温度对磁流体密封装置寿命的影响,以扩大其应用范围。该磁流体密封装置具有外壳与可相对于外壳转动的传动轴,传动轴上套设有磁极,磁极之间具有磁铁,且传动轴上具有容纳磁流体的密封槽,该磁流体冷却结构则用于磁流体密封装置中,其中外壳上具有冷却液入口与出口,传动轴内设有冷却液流动通道,该流动通道与冷却液入口与出口相通,以实现冷却液由入口经流动通道至出口的流通。 | ||
搜索关键词: | 流体 冷却 结构 相应 密封 装置 | ||
【主权项】:
1. 一种磁流体冷却结构,用于磁流体密封装置中,该磁流体密封装置具有外壳与可相对于外壳转动的传动轴,传动轴上套设有磁极,磁极之间具有磁铁,且传动轴上具有容纳磁流体的密封槽,其中所述外壳上具有冷却液入口与出口,其特征是,所述传动轴内设有冷却液流动通道,该流动通道与所述冷却液入口与出口相通,以实现冷却液由入口经流动通道至出口的流通。
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