[实用新型]气体湿度测量装置有效
| 申请号： | 200820158341.1 | 申请日： | 2008-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN201344924Y | 公开（公告）日： | 2009-11-11 |
| 发明（设计）人： | 于文忠;张孝松;王飞;陈勇辉;金敏 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G01N33/00 | 分类号： | G01N33/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人： | 屈 蘅;李时云 |
| 地址： | 201203上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种气体湿度测量装置，所述气体湿度测量装置包括过滤器和湿度传感器，所述湿度传感器嵌入在所述过滤器中，所述湿度传感器与所述过滤器通过连接件连接，所述湿度传感器与连接件以可拆卸方式连接或者一体成型，所述过滤器与连接件以可拆卸方式连接或者一体成型，所述过滤器与连接件通过螺纹连接，所述湿度传感器与所述过滤器以可拆卸方式连接。与现有气体湿度测量装置相比，本实用新型提供的气体湿度测量装置通过将待测气体引入至该气体湿度测量装置的过滤器中进行过滤再进行测量，气体的温度和压强变化幅度小，可以直接在第一时间进行测量，从而更能精确稳定测量出气体的湿度信息，而且结构简单，方便安装和拆卸。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 湿度 测量 装置 | ||
【主权项】：
1.一种气体湿度测量装置，其特征在于：所述气体湿度测量装置包括过滤器和湿度传感器，所述湿度传感器嵌入在所述过滤器中。
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