[实用新型]一种高功率平面磁控溅射阴极无效
| 申请号： | 200820158802.5 | 申请日： | 2008-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN201301339Y | 公开（公告）日： | 2009-09-02 |
| 发明（设计）人： | 陈理;李国强 | 申请（专利权）人： | 湖南玉丰真空科学技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 湘潭市雨湖区创汇知识产权代理事务所 | 代理人： | 左祝安 |
| 地址： | 411100湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种高功率平面磁控溅射阴极，它属于一种双银层低辐射膜。它主要是解决现有的平面磁控溅射阴极其磁铁浸泡在水中，用久了会消磁等技术问题。其技术方案要点是：它由包括阴极体(4)、靶材(1)和磁铁构成，靶材(1)安装在阴极体(4)的上部，在阴极体(4)的内腔内设置有密闭的冷却通道(2)，在阴极体(4)内腔内其底部与冷却通道(2)之间设置有磁靴(5)，在冷却通道(2)与磁靴(5)之间设置有磁铁(3)。它通过在阴极体内部设置一个独立的冷却通道，从而使磁铁不与冷却媒介接触，避免永久磁铁被冷却媒介腐蚀；并通过设计具有高导热性能材料制成的热传导板与靶材大面积接触，从而可使靶材得到充分的冷却，使阴极能承受更高的功率。它可广泛应用于真空磁控溅射镀膜设备上。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 功率 平面 磁控溅射 阴极 | ||
【主权项】：
1、一种高功率平面磁控溅射阴极，它由包括阴极体(4)、靶材(1)和磁铁构成，在阴极体(4)的内腔内安装有磁铁，靶材(1)安装在阴极体(4)的上部，其特征是：在阴极体(4)的内腔内设置有密闭的冷却通道(2)，在阴极体(4)内腔内其底部与冷却通道(2)之间设置有磁靴(5)，在冷却通道(2)与磁靴(5)之间设置有磁铁(3)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于湖南玉丰真空科学技术有限公司，未经湖南玉丰真空科学技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200820158802.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：带压力冲击吸收功能的液压挖掘机主泵
- 下一篇：特优钢材加工气浴缓冷装置
- 同类专利
- 专利分类
