[实用新型]一种可裁剪的双面纳米带电极阵列集成传感器

摘要

本实用新型公开了一种可裁剪双面纳米带电极阵列集成传感器。选用硅片或玻璃作基底，采用MEMS技术将两种不同的电极材料沉积在基底的正反两个平面上，以光刻技术形成上下面对称的梳状工作电极和参考电极阵列，采用PECVD方法在两侧分别沉积有氮化硅绝缘层，光刻露出焊盘，在两面绝缘层上刻制与电极方向垂直的多条切割线。传感器定期裁剪抛光，多次使用延长器件寿命，提高并保持电极的一致和稳定性。传感器固定在Teflon腔体内，采用差分脉冲阳极溶出伏安法，采集被测溶液的阻抗以及氧化还原电流信号。它可在江河湖海、生物医学、工业废水废气等领域中直接对溶液中的阴阳离子浓度进行定量检测，进行表面修饰后可对生物分子进行定性检测。

主权项

1、一种可裁剪的双面纳米带电极阵列集成传感器，包括基底、电极、绝缘层和焊盘；其特征在于：选用硅片或玻璃作基底，采用MEMS技术将两种不同的电极材料沉积在基底的正反两个平面上，分别构成工作电极和参考电极，采用光刻技术形成上下面对称的梳状工作电极和参考电极阵列，采用PECVD方法在梳状工作电极和参考电极两侧分别沉积有氮化硅绝缘层，光刻露出焊盘，在两面绝缘层上刻制与电极方向垂直的多条切割线。