[实用新型]多线切割机用导轮无效
申请号: | 200820166092.0 | 申请日: | 2008-10-14 |
公开(公告)号: | CN201264321Y | 公开(公告)日: | 2009-07-01 |
发明(设计)人: | 陆昌忠 | 申请(专利权)人: | 浙江华友电子有限公司 |
主分类号: | B28D5/04 | 分类号: | B28D5/04 |
代理公司: | 杭州裕阳专利事务所(普通合伙) | 代理人: | 应圣义 |
地址: | 324300浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 一种多线切割机用导轮,包括主导轮、从导轮,主导轮、从导轮的轴向环面上均设有接纳切割线的多条环槽,其特征是:环槽与环槽的槽距为0.339-0.341微米。与现有技术相比,将现有通常使用的环槽与环槽的槽距从0.36微米改进至0.339-0.341微米后,有利于增加硅片出片率,提高单位长度硅单晶锭的利用率。 | ||
搜索关键词: | 切割机 导轮 | ||
【主权项】:
1、一种多线切割机用导轮,包括主导轮(6)、从导轮(4),主导轮(6)、从导轮(4)的轴向环面上均设有接纳切割线的多条环槽,其特征是:环槽与环槽的槽距为0.339—0.341微米。
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