[实用新型]太阳电池等离子刻蚀模具的加压系统

摘要

本实用新型公开了一种太阳电池等离子刻蚀模具的加压系统，属于太阳电池刻蚀设备技术领域，包括底板、盖板、加压装置，所述加压装置包括一对立柱、加压条、螺栓、数控扭力扳手，加压条水平设置在立柱的上端，加压条中间开设有与螺栓相配合的螺孔，且螺孔中心线垂直于加压条；所述盖板的中心开设有容纳槽；数控扭力扳手与螺栓相配合。本实用新型可精确控制整叠硅片的压力，产品性能一致，成品率高。

主权项

1、一种太阳电池等离子刻蚀模具的加压系统，包括底板(1)、盖板(2)、加压装置，其特征在于：所述加压装置包括一对立柱(3a、3b)、加压条(4)、螺栓(5)、数控扭力扳手(6)，加压条(4)水平设置在立柱(3a、3b)的上端，加压条(4)中间开设有与螺栓(5)相配合的螺孔(7)，且螺孔(7)中心线垂直于加压条(4)；所述盖板(2)的中心开设有容纳槽(2a)；数控扭力扳手(6)与螺栓(5)相配合。