[实用新型]蚀刻机无效
| 申请号： | 200820168518.6 | 申请日： | 2008-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN201313937Y | 公开（公告）日： | 2009-09-23 |
| 发明（设计）人： | 沈慕禹 | 申请（专利权）人： | 绍兴华立电子有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/08 | 分类号： | C23F1/08 |
| 代理公司： | 绍兴市越兴专利事务所 | 代理人： | 蒋卫东 |
| 地址： | 312000浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种蚀刻机，属于蚀刻设备技术领域，包括安装在箱体内的滚轮输送装置，所述箱体左右两侧均开设有数个进液口，每个进液口连通有两条上下分布的喷淋管，每条喷淋管上安装有数个喷嘴，滚轮输送装置位于各上、下喷淋管的喷嘴之间，且连通左侧进液口的各喷淋管与连通右侧进液口的各喷淋管相互间隔排列。本实用新型蚀刻机，蚀刻均匀、生产效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 蚀刻 | ||
【主权项】：
1、一种蚀刻机，包括安装在箱体(6)内的滚轮输送装置(7)，其特征在于：所述箱体(6)左右两侧均开设有数个进液口(8)，每个进液口(8)连通有两条上下分布的喷淋管(9)，每条喷淋管(9)上安装有数个喷嘴(10)，滚轮输送装置(7)位于各上、下喷淋管(9)的喷嘴(10)之间，且连通左侧进液口(8)的各喷淋管(9)与连通右侧进液口(8)的各喷淋管(9)相互间隔排列。
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