[实用新型]用于检测产品总漏率的氦质谱检漏仪无效
| 申请号： | 200820177125.1 | 申请日： | 2008-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN201318980Y | 公开（公告）日： | 2009-09-30 |
| 发明（设计）人： | 朱国精;王东升 | 申请（专利权）人： | 北京中科科仪技术发展有限责任公司 |
| 主分类号： | G01M3/02 | 分类号： | G01M3/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100190北*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种产品总漏率氦质谱检漏仪，包括质谱室、分子泵、机械泵、电磁阀、微孔、电器控制系统。机械泵通过真空管路一路接到检漏阀、检漏阀和分子泵出气口相连、分子泵进气口和质谱室相连；另一路接到微孔。其特征在于微孔与检漏阀、分子泵、质谱室连接，构成气流稳定(恒定)的通路。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 检测 产品 总漏率 氦质谱 检漏 | ||
【主权项】：
1、一种用于检测产品总漏率的氦质谱检漏仪，包括质谱室、分子泵、机械泵、电磁阀、微孔片、电器控制系统；机械泵通过真空管路一路接到检漏阀、检漏阀和分子泵出气口相连、分子泵进气口和质谱室相连；另一路接到微孔片；其特征在于微孔片与检漏阀、分子泵、质谱室连接，构成气流恒定的通路。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京中科科仪技术发展有限责任公司，未经北京中科科仪技术发展有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200820177125.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种卧式拉弯成型装置
- 下一篇：一种便携式折弯设备
