[实用新型]抛光垫有效
| 申请号： | 200820177406.7 | 申请日： | 2008-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN201287300Y | 公开（公告）日： | 2009-08-12 |
| 发明（设计）人： | 邱汉郎;陈少禹;郑裕隆 | 申请（专利权）人： | 贝达先进材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B24D11/00 | 分类号： | B24D11/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 周长兴 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种抛光垫，特别是有关于一种具有两种沟槽态样的抛光垫。此抛光垫具有一抛光面，且于抛光面上形成至少一第一沟槽以及至少一第二沟槽，其中抛光垫的特征在于：第一沟槽与第二沟槽相连通，且第一沟槽的宽度较第二沟槽的宽度为大，以及第一沟槽的深度较第二沟槽的深度为大。以抛光垫进行研磨作业时，因抛光而产生的碎屑或是抛光液中的研磨颗粒，较为细小者或浑浊的抛光液可由第二沟槽流出抛光垫，较为粗大的碎屑或颗粒可由第一沟槽流出抛光垫，因此使抛光垫不易因残留研磨颗粒或沉淀物，而导致抛光物的表面刮伤与损坏。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光 | ||
【主权项】：
1、一种抛光垫，该抛光垫具有一抛光面，且该抛光面上形成至少一第一沟槽以及至少一第二沟槽，其中该抛光垫的特征在于：该第一沟槽与该第二沟槽相连通，且该第一沟槽的宽度较该第二沟槽的宽度为大，以及该第一沟槽的深度较该第二沟槽的深度为大。
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