[实用新型]晶圆盒的转动开关装置

摘要

本实用新型公开一种晶圆盒的转动开关装置，其设于一晶圆盒的盒座内，其包含一旋转盘、一枢接部、二支撑轴、二抵接轴套及一盖板。所述旋转盘利用所述枢接部枢接于所述晶圆盒的盒座内。所述支撑轴对称的设于所述旋转盘上，所述抵接轴套可转动的套设于所述二支撑轴上，所述二抵接轴套用以抵接所述晶圆盒内的二闩锁板。所述盖板结合于所述枢接部及支撑轴上，使所述抵接轴套可转动的位于所述盖板及旋转盘的底面之间。所述旋转盘可受一驱动机构的驱动而转动，以控制所述闩锁板的开关。藉此，可增加所述转动开关装置的强度，并减少抵接于所述闩锁板时产生的微粒，避免污染所述晶圆盒。

主权项

1、一种晶圆盒的转动开关装置，其设于一晶圆盒的盒座内，其特征在于：所述晶圆盒的转动开关装置包含：一旋转盘；一枢接部，其凸设于所述旋转盘上，用以将所述旋转盘枢接于所述晶圆盒的盒座内；二支撑轴，其对称的固设于所述旋转盘上；二抵接轴套，其分别可转动的套设于所述二支撑轴上；以及一盖板，其结合于所述枢接部及支撑轴上，使所述抵接轴套可转动的位于所述盖板及旋转盘的底面之间。