[实用新型]一种硅片放置装置

摘要

本实用新型公开了一种硅片放置装置由上板、中间板、底板、前挡杆、中间挡杆和后挡杆组成；上板和中间板边缘均设置有“凸”字形齿槽，齿槽内侧边缘的垂直方向均设置有前挡杆、中间挡杆和后挡杆，各挡杆一端连接上板，穿过中间板后另一端与底板连接；本实用新型利用上板、中间板、前挡杆、中间挡杆和后挡杆所形成的中空框，将硅片盒能够放置于内，在高速转动过程中，硅片盒在离心力的作用下，能够牢牢地固定在中空框内，五面的夹持使硅片盒非常稳定，硅片不会因碰撞而碎裂，整体具有结构简单，拆卸、清洗方便，放置硅片多等优点。

主权项

1、一种硅片放置装置由上板、中间板、底板、前挡杆、中间挡杆和后挡杆组成；其特征在于：所述的上板、中间板和底板为圆形，外径大小一致，三者为垂直方向同轴平行放置，齿槽内侧边缘的垂直方向均设置有前挡杆、中间挡杆和后挡杆，上板、中间板、前挡杆、中间挡杆和后挡杆形成了一个中空框。