[实用新型]多晶硅晶棒的制造装置有效
| 申请号： | 200820180533.2 | 申请日： | 2008-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN201343583Y | 公开（公告）日： | 2009-11-11 |
| 发明（设计）人： | 蓝崇文;徐文庆;谢兆坤;王兴邦;何思桦 | 申请（专利权）人： | 昆山中辰矽晶有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B28/10 |
| 代理公司： | 北京申翔知识产权代理有限公司 | 代理人： | 周春发 |
| 地址： | 215316江苏省昆*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型多晶硅晶棒的制造装置，其至少包含有：石英坩埚，该石英坩埚中容置有硅融浆；加热器，该加热器设于该石英坩埚的外围；旋转提拉件，该旋转提拉件设于该石英坩埚上方；多晶形式的硅晶种，该多晶形式的硅晶种浸入石英坩埚的硅融浆当中，以析出多晶硅的结晶，并且结晶逐渐被析的过程中，该旋转提拉件以既定的速度将硅晶种上拉，使硅晶种的下端结晶依序以晶冠以及晶体构成的多晶硅晶棒，利用上述装置可以长成可供制作太阳能晶片原料的多晶硅晶棒。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 硅晶棒 制造 装置 | ||
【主权项】：
1、一种多晶硅晶棒的制造装置，其特征在于，其至少包含有：石英坩锅，该石英坩锅中容置有硅融浆；加热器，该加热器设于该石英坩锅的外围；旋转提拉件，该旋转提拉件设于该石英坩锅上方；多晶形式的硅晶种，该多晶形式的硅晶种浸入石英坩锅的硅融浆当中。
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