[实用新型]一种具有防卡死结构的真空泵装置无效
| 申请号： | 200820181405.X | 申请日： | 2008-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN201306284Y | 公开（公告）日： | 2009-09-09 |
| 发明（设计）人： | 徐忠辉;孙伦郑;何伟 | 申请（专利权）人： | 和舰科技(苏州)有限公司 |
| 主分类号： | F04C25/00 | 分类号： | F04C25/00;F04C29/00 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 | 代理人： | 张春媛 |
| 地址： | 215025江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种具有防卡死结构的真空泵装置，包括：通过管路依次连接的制程腔体、高真空泵、低真空泵，其特征在于，还包括依次连接在上述高真空泵与上述低真空泵之间的滤清器和手阀。本实用新型的滤清器和波纹式手阀顺序串接形成的结构既提高了工作效率又减小了低真空泵卡死的风险，在真空系统中的应用有一定的意义。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 防卡死 结构 真空泵 装置 | ||
【主权项】：
1. 一种具有防卡死结构的真空泵装置，包括通过管路依次连接的制程腔体、高真空泵、低真空泵，其特征在于，还包括依次连接在上述高真空泵与上述低真空泵之间的滤清器和手阀。
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