[实用新型]一种恒压式气体流量计变容室波纹管体积变化的测量装置

摘要

本实用新型涉及一种恒压式气体流量计变容室波纹管体积变化的测量装置，属于真空计量技术领域。包括供气系统、变容室、隔断阀门、参考室管道、绝对式压力计、差压式压力计、平动机构、标准容器、真空阀门和抽气系统。变容室包括波纹管和变容室管道。供气系统通过一个真空阀门与参考室管道相连，抽气系统通过一个真空阀门与参考室管道相连，绝压式压力计与参考室管道相连；差压式压力计一端与参考室管道相连，另一端与变容室管道相连；波纹管一端与平动机构相连，波纹管另一端通过一个真空阀门与变容室管道相连；标准容器通过一个真空阀门与变容室管道相连；变容室管道与参考室管道间通过隔断阀门相连。该装置可进行原位测量，并可在工作状态下重复测量。

主权项

1、一种恒压式气体流量计变容室波纹管体积变化的测量装置，其特征在于：包括供气系统、变容室、隔断阀门、参考室管道、绝对式压力计、差压式压力计、平动机构、标准容器、真空阀门和抽气系统；其中，变容室包括波纹管和变容室管道；其连接关系为：供气系统通过第一真空阀门与参考室管道相连，抽气系统通过第二真空阀门与参考室管道相连，绝压式压力计与参考室管道相连；差压式压力计一端与参考室管道相连，另一端与变容室管道相连；波纹管一端与平动机构相连，另一端通过第三真空阀门与变容室管道相连；标准容器通过第四真空阀门与变容室管道相连；变容室管道与参考室管道间通过隔断阀门相连；第一真空阀门处于关闭状态，第二真空阀门、第三真空阀门、第四真空阀门均处于打开状态；隔断阀门处于打开状态。