[实用新型]基板吸附装置无效
| 申请号： | 200820184214.9 | 申请日： | 2008-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN201350632Y | 公开（公告）日： | 2009-11-25 |
| 发明（设计）人： | 叶东益;颜嘉兴 | 申请（专利权）人： | 晶彩科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B25J15/06 | 分类号： | B25J15/06 |
| 代理公司： | 北京泛诚知识产权代理有限公司 | 代理人： | 文 琦;杨本良 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种基板吸附装置，其由一个以上吸盘组合所组成，其中吸盘组合包括：软质或可变角度吸盘件，其具有至少一个软质或可变角度的吸嘴；以及硬质吸盘件，其中该硬质吸盘件的主体具有镂空部以容纳软质或可变角度吸盘件于镂空部内以进行上下相对运动。 | ||
| 搜索关键词： | 吸附 装置 | ||
【主权项】：
1.一种基板吸附装置，其由一个以上的吸盘组合所组成，其特征在于，该吸盘组合包括：一软质吸盘件，其具有至少一个软质吸嘴；以及一硬质吸盘件，其中该硬质吸盘件的一主体具有一镂空部，以容纳所述软质吸盘件在该镂空部内进行上下相对运动。
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