[实用新型]用于高纯气体的新型膜片式压缩装置

摘要

本实用新型涉及高纯气体的膜片式压缩装置。其解决目前存在的膜压机入口压力及流量的波动使吸入压力为负压，致空气吸入装置内而使高纯气体的纯度降低等不足。措施：用于高纯气体的新型膜片式压缩装置，由气体入口管、连接于气体入口管的流量表、衡压阀、入口压力表、压缩机、气液分离器、气体输送管、自动回流阀、出口压力表组成，其在于在气体入口管1上连接有缓冲罐10；在衡压阀3前的气体入口管1上连接有自动调节阀11，自动调节阀11及自动回流阀8通过信号线12分别与逻辑功能块13输出连接，流量表2、入口压力表4及出口压力表9通过信号线12与逻辑功能块13的输入连接。本实用新型压缩机入口压力及入口流量稳定，并实现自动调节。

主权项

1、用于高纯气体的新型膜片式压缩装置，由气体入口管(1)、连接于气体入口管(1)的流量表(2)、衡压阀(3)、入口压力表(4)、压缩机(5)、与压缩机(5)连接的气液分离器(6)、气体输送管(7)、自动回流阀(8)、出口压力表(9)组成，其特征在于：在入口压力表(4)前的气体入口管(1)上连接有缓冲罐(10)；在衡压阀(3)前的气体入口管(1)上连接有自动调节阀(11)，自动调节阀(11)及自动回流阀(8)通过信号线(12)分别与逻辑功能块(13)的输出连接，流量表(2)、入口压力表(4)及出口压力表(9)通过信号线(12)与逻辑功能块(13)的输入连接。