[实用新型]用在塑材上溅射金属中定位的夹具有效
| 申请号： | 200820199343.5 | 申请日： | 2008-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN201317806Y | 公开（公告）日： | 2009-09-30 |
| 发明（设计）人： | 林政乾 | 申请（专利权）人： | 柏霆(苏州)光电科技有限公司;柏腾科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 孙仿卫 |
| 地址： | 215011江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种用在塑材上溅射金属中定位的夹具，该夹具用于将塑材工件在进行真空溅射金属沉积薄膜工艺中进行定位，塑材工件包括镀膜区和非镀膜区，该夹具包括上框、底座、遮蔽装置、真空离子减弱装置，底座上设置有用于将塑材工件定位在其上的定位装置，底座和上框上设置有相互配合作用的定位机构，该定位机构能对底座和上框之间进行定位；遮蔽装置用于对塑材工件的非镀膜区进行遮蔽，遮蔽装置的尺寸和位置与所述塑材工件上的非镀膜区尺寸和位置相对应；真空离子减弱装置用来减弱金属离子对塑材工件上的镀膜区的较薄弱易产生变形部位的溅射。其优点在于：塑材工件经本实用新型定位后进行溅射，能够快速、准确的获得织密稳定的沉积薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 塑材上 溅射 金属 定位 夹具 | ||
【主权项】：
1、一种用在塑材上溅射金属中定位的夹具，该夹具用于将塑材工件(3)在进行真空溅射金属沉积薄膜工艺中进行定位，所述的塑材工件(3)包括镀膜区和非镀膜区，其特征在于：该夹具包括上框(1)、底座(2)、遮蔽装置、真空离子减弱装置，所述的底座(2)上设置有用于将所述的塑材工件(3)定位在其上的定位装置，所述的底座(2)和上框(1)上设置有相互配合作用的定位机构，该定位机构能对所述的底座(2)和上框(1)之间进行定位；所述的遮蔽装置用于对所述的塑材工件(3)的非镀膜区进行遮蔽，所述的遮蔽装置的尺寸和位置与所述塑材工件(3)上的非镀膜区的尺寸和位置相对应；所述的真空离子减弱装置用来减弱金属离子对所述的塑材工件(3)上的镀膜区的较薄弱易产生变形部位的溅射。
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