[实用新型]软体卷材式铜铟镓硒-非晶硅多结薄膜太阳能电池

摘要

本实用新型一种卷材式铜铟镓硒-非晶硅多结薄膜太阳能电池，其特征在于：它是依次在不易氧化的金属箔软体或软体塑胶薄膜的衬底上，溅射钼Mo或钛Te层作电极，然后再用多靶磁控溅射设备溅镀铜Cu、铟In、镓Ga层后，在硒H₂Se气氛中硒化制备硒Se层，为完整的P型铜铟镓硒层。再溅镀n型铜铟镓硒层，组成p-n结。在其层面上再溅射氧化锌Zno透明导电膜，再镀非晶硅α-Si层P-n结，再镀导电膜并镀梳状金属电极，最后镀透明保护膜，共组成多结薄膜太阳电池组件。其优点为：制备设备一次性投资低、性能稳定、转化率高、成本低、原料丰富、产品轻、运输量小、不易破损，可大面积生产。

主权项

1、本实用新型一种卷材式铜铟镓硒---非晶硅多结薄膜太阳能电池，其特征在于：它是依次在不锈钢箔、铜箔和不易氧化的金属箔软体或特制的软体塑胶薄膜为衬底(1)上，溅射钼Mo或钛Te层作电极(2)，然后再应用多靶磁控溅射设备溅镀铜Cu、铟In、镓Ga层后，在硒H2Se气氛中硒化制备硒Se层，为完整的P型铜铟镓硒CuInGaSe2层(3)，相继在其表面上，再应用多靶磁控溅射设备溅镀n型铜铟镓硒CuInxGal-x Se2层(4)，组成p-n结，在其层面上，采用溅射法溅射氧化锌Zno透明导电膜(5)，再应用化学沉积法或辉光放电法镀非晶硅α-Si层P-n结(6)，再镀导电膜(7)，并镀梳状金属电极(8)，最后镀透明保护膜(9)，共组成多结薄膜太阳电池组件。