[实用新型]一种用于减薄微压传感器弹性膜片的激光装置有效
| 申请号： | 200820210983.1 | 申请日： | 2008-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN201320662Y | 公开（公告）日： | 2009-10-07 |
| 发明（设计）人： | 颜志红;谢锋;陈云锋 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
| 主分类号： | B23K26/36 | 分类号： | B23K26/36;B23K26/02;B23K26/08;B23K26/42 |
| 代理公司： | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 | 代理人： | 马 强 |
| 地址： | 410111湖南省*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于减薄微压传感器弹性膜片的激光装置，包括激光加工机、微动台和位于微动台上的水冷架，所述水冷架设有一与弹性膜片相应大小的卡槽；所述激光加工机的激光发生器对准所述卡槽，以使其发射的激光束垂直于卡槽位置；激光加工机上设置有控制激光发生器移动的激光偏转器。本实用新型针对传统加工装置不能制造200μm以下的微压传感器弹性膜片的问题，提供一种用于减薄微压传感器弹性膜片的激光装置，使其能将金属弹性膜片精确加工到100μm～200μm之间需要的厚度，而且可以修正弹性膜片的不平行度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 减薄微压 传感器 弹性 膜片 激光 装置 | ||
【主权项】：
1、一种用于减薄微压传感器弹性膜片的激光装置，其特征是包括激光加工机(1)、微动台(5)和位于微动台(5)上的水冷架(4)，所述水冷架(4)设有一与弹性膜片(9)相应大小的卡槽(3)；所述激光加工机(1)的激光发生器(11)对准所述卡槽(3)，以使其发射的激光束(8)垂直于卡槽(3)位置；激光加工机(1)上设置有控制激光发生器(11)移动的激光偏转器(2)。
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