[实用新型]周壁设有从动件的晶圆承载装置

摘要

本实用新型适用于测试技术领域，提供了一种周壁设有从动件的晶圆承载装置，用来迭置复数晶圆，所述的承载装置包括基座、周壁和从动件，其中：所述基座包括固定框，以及位于所述的固定框中央、并可相对所述固定框上下移动的顶高架；所述周壁设置于所述固定框周缘，其尺寸与所述晶圆对应；所述从动件设置于所述周壁，随所述顶高架升降，沿所述顶高架移动方向相对所述周壁升降。本实用新型克服现有技术的不足，采用与顶高架连动的从动件，顶高架可稳定且缓步提供升降机能，使晶圆迭置更安全稳定，并设置有可开合的门扇，使迭置的晶圆取出更加便利，承载装置周壁两侧的把手更便利于安全搬运，有效的提升了测试质量与测试效率。

主权项

1、一种周壁设有从动件的晶圆承载装置，用来迭置复数晶圆，其特征在于，所述的承载装置包括基座、周壁和从动件，其中：所述基座包括固定框，以及位于所述的固定框中央、并可相对所述固定框上下移动的顶高架；所述周壁设置于所述固定框周缘，其尺寸与所述晶圆对应；所述从动件设置于所述周壁，随所述顶高架升降，沿所述顶高架移动方向相对所述周壁升降。