[实用新型]多晶硅氢还原炉电极结构有效
| 申请号： | 200820222842.1 | 申请日： | 2008-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN201305654Y | 公开（公告）日： | 2009-09-09 |
| 发明（设计）人： | 戴自忠;张强 | 申请（专利权）人： | 四川永祥多晶硅有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C01B33/03 |
| 代理公司： | 成都天嘉专利事务所（普通合伙） | 代理人： | 方 强 |
| 地址： | 614800四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种多晶硅氢还原炉电极结构，包括安装在氢还原炉炉盘上的电极，与电极一一对应安装的硅芯棒，电极与硅芯棒之间通过石墨夹头连接，其特征在于：电极的电极头外侧与石墨夹头底部的外侧设有螺纹，电极的电极头与石墨夹头底部之间通过螺母连接。本实用新型有效解决了电极与石墨夹头的接触问题，延长了电极的使用寿命，降低了成本。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 还原 电极 结构 | ||
【主权项】：
1、多晶硅氢还原炉电极结构，包括安装在氢还原炉炉盘(6)上的电极(7)，与电极(7)一一对应安装的硅芯棒(3)，电极(7)与硅芯棒(3)之间通过石墨夹头(12)连接，其特征在于：电极(7)的电极头外侧与石墨夹头(12)底部的外侧设有螺纹，电极(7)的电极头与石墨夹头(12)底部之间通过螺母(13)连接。
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