[实用新型]多晶硅氢还原炉硅芯棒与石墨夹头的连接装置有效
申请号: | 200820222843.6 | 申请日: | 2008-11-24 |
公开(公告)号: | CN201305655Y | 公开(公告)日: | 2009-09-09 |
发明(设计)人: | 戴自忠;张强 | 申请(专利权)人: | 四川永祥多晶硅有限公司 |
主分类号: | C30B29/06 | 分类号: | C30B29/06;C01B33/03 |
代理公司: | 成都天嘉专利事务所(普通合伙) | 代理人: | 方 强 |
地址: | 614800四*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种多晶硅氢还原炉硅芯棒与石墨夹头的连接装置,包括设置在炉盘上的电极,与电极一一对应安装的硅芯棒,所述电极与硅芯棒之间通过石墨夹头固定连接,在所述石墨夹头的夹瓣和硅芯棒之间设有柔性石墨垫,所述柔性石墨垫设置在石墨夹头的夹瓣顶部与硅芯棒之间,所述柔性石墨垫为至少一圈。本实用新型可有效解决硅芯棒和石墨夹头接触不良和接触和大电流变化下磁感应力将硅芯齐根折断的问题,大大降低了倒炉率。 | ||
搜索关键词: | 多晶 还原 炉硅芯棒 石墨 夹头 连接 装置 | ||
【主权项】:
1、多晶硅氢还原炉硅芯与石墨夹头的连接装置,包括设置在炉盘(6)上的电极(7),与电极(7)一一对应安装的硅芯棒(3),所述电极(7)与硅芯棒(3)之间通过石墨夹头固定连接,其特征在于:在所述石墨夹头的夹瓣(13)和硅芯棒(3)之间设有柔性石墨垫(12),所述柔性石墨垫(12)设置在石墨夹头的夹瓣(13)顶部与硅芯棒(7)之间,所述柔性石墨垫(12)为至少一圈。
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