[实用新型]低辐射镀膜玻璃膜层厚度调节用异型挡板无效

专利信息
申请号: 200820225969.9 申请日: 2008-11-21
公开(公告)号: CN201292403Y 公开(公告)日: 2009-08-19
发明(设计)人: 李琛;张庆;邢汉忠 申请(专利权)人: 淄博盛达创业玻璃有限公司
主分类号: C23C14/34 分类号: C23C14/34
代理公司: 青岛发思特专利商标代理有限公司 代理人: 巩同海
地址: 255086山*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 一种低辐射镀膜玻璃膜层厚度调节用异型挡板,属于低辐射镀膜玻璃制造设备技术领域,所述挡板设置在真空溅射镀膜室溅射靶源周围,包括异型挡板本体,其特征是,所述异型挡板本体具有工作面板和固定面板,两块面板长边相等、呈直角对折,其中工作面板是异型的,所述工作面板两端宽,中间窄;另一块固定面板为长方形,其上设有沉孔式螺栓孔。本实用新型通过调节挡板工作面宽度调整镀膜厚度,另外,本实用新型避免了镀膜时两端厚中间薄的缺点,效果良好。
搜索关键词: 辐射 镀膜 玻璃 厚度 调节 异型 挡板
【主权项】:
1.一种低辐射镀膜玻璃膜层厚度调节用异型挡板,所述挡板设置在真空溅射镀膜室溅射靶源周围,包括异型挡板本体,其特征是,所述异型挡板本体具有工作面板和固定面板,两块面板长边相等、呈直角对折,其中工作面板是异型的,所述工作面板两端宽,中间窄;另一块固定面板为长方形,其上设有沉孔式螺栓孔。
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