[实用新型]一种多晶硅双硅芯拉制装置有效
| 申请号： | 200820228481.1 | 申请日： | 2008-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN201317831Y | 公开（公告）日： | 2009-09-30 |
| 发明（设计）人： | 董淑梅;刘凯;原洛渭;宋艳玲;王建春;袁文愈 | 申请（专利权）人： | 西安理工晶体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/10 | 分类号： | C30B28/10;C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 西安弘理专利事务所 | 代理人： | 罗 笛 |
| 地址： | 710077陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种多晶硅双硅芯拉制装置，包括从上到下依次设置的导向部分、籽晶夹持部分、双芯高频线圈部分及原料棒籽晶夹持部分，导向部分与籽晶夹持部分连接，双芯高频线圈部分设置有两个芯孔，原料棒籽晶夹持部分设置有两个原料棒，籽晶夹持部分夹持的两个籽晶分别与两个芯孔轴线以及两个原料棒轴线对正；籽晶夹持部分设置有两组硅芯拉制单元，每组硅芯拉制单元包括依次连接的连接座、接头、接套、籽晶头座，籽晶头座与籽晶头通过锥面连接，籽晶头又同轴穿过支承头、夹头、夹爪；双芯高频线圈采用串联结构；两根原料棒固定在两个独立运动的传动轴上。本实用新型的硅芯炉装置一次能同时拉制两根硅芯，提高了效率，节省人力、物力及能源。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 硅双硅芯 拉制 装置 | ||
【主权项】：
1、一种多晶硅双硅芯拉制装置，其特征在于：包括从上到下依次设置的导向部分、籽晶夹持部分、双芯高频线圈部分及原料棒籽晶夹持部分，所述导向部分与籽晶夹持部分连接，双芯高频线圈部分设置有两个芯孔(27)，原料棒籽晶夹持部分设置有两个原料棒(22)，籽晶夹持部分夹持的两个籽晶(28)分别与两个芯孔(27)轴线以及两个原料棒(22)轴线对正；所述籽晶夹持部分包括两组同样结构的硅芯拉制单元，每组硅芯拉制单元又包括与连接座(2)连接的接头(5)，接头(5)与接套(6)连接，接套(6)伸进籽晶头座(9)中并与籽晶头座(9)同轴连接，伸进籽晶头座(9)的接套(6)端头连接有一压母(8)；籽晶头座(9)与从另一端伸入籽晶头座(9)中的籽晶头(10)通过锥面连接，籽晶头(10)又同轴穿过支承头(11)、夹头(12)、夹爪(13)，支承头(11)与夹头(12)连接，夹头(12)内套装有夹爪(13)。
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