[实用新型]线切割机硅片收集槽无效

专利信息
申请号: 200820232270.5 申请日: 2008-12-25
公开(公告)号: CN201325127Y 公开(公告)日: 2009-10-14
发明(设计)人: 马军正 申请(专利权)人: 锦州日鑫硅材料有限公司
主分类号: B28D5/04 分类号: B28D5/04;B28D7/00
代理公司: 锦州辽西专利事务所 代理人: 葛春波
地址: 121000辽宁*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要: 一种线切割机硅片收集槽,解决了在单晶硅生产过程中将硅棒进行线切割时硅片落入硅片收集槽中会产生相互挤压、重叠,拾取时极易导致硅片破损的问题。它有一个槽体,在槽体两个端面设有扶手,其特殊之处是:在槽体内放置有支架,在支架上部设置有横向隔筋,在支架下部设置有纵向支撑筋。优点是:可防止硅片下落后挤压、重叠,确保捡取时硅片完好无损。
搜索关键词: 切割机 硅片 收集
【主权项】:
1、一种线切割机硅片收集槽,包括一个槽体,在槽体两个端面设有扶手,其特征是:在槽体内放置有支架,在支架上部设置有横向隔筋,在支架下部设置有纵向支撑筋。
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