[实用新型]一种等离子渗硫的硫源供给装置有效
申请号: | 200820233909.1 | 申请日: | 2008-12-30 |
公开(公告)号: | CN201321487Y | 公开(公告)日: | 2009-10-07 |
发明(设计)人: | 杨兴宽;于水波;彭明霞;余军 | 申请(专利权)人: | 中国铁道科学研究院金属及化学研究所 |
主分类号: | C23C8/36 | 分类号: | C23C8/36 |
代理公司: | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 | 代理人: | 王 勇 |
地址: | 100081*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种等离子渗硫的硫源供给装置。该硫源供给装置包括硫罐(4),其中还包括冷却系统、加热系统、测温系统和控制系统;所述冷却系统围绕所述硫罐(4),并与所述控制系统相连接;所述加热系统与所述硫罐(4)热连通,并与所述控制系统相连接;所述测温系统的一端位于所述硫罐(4)内部,另一端与所述控制系统相连接。采用该硫源供给装置可以消除炉内工艺温度与硫蒸发温度间的相互制约和影响,使硫源温度可控。 | ||
搜索关键词: | 一种 等离子 供给 装置 | ||
【主权项】:
1.一种硫源供给装置,包括硫罐(4),其特征在于,还包括冷却系统、加热系统、测温系统和控制系统;其中,所述冷却系统围绕所述硫罐(4),并与所述控制系统相连接;所述加热系统与所述硫罐(4)热连通,并与所述控制系统相连接;所述测温系统的一端位于所述硫罐(4)内部,另一端与所述控制系统相连接。
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