[实用新型]300mm立式氧化炉石英舟有效
| 申请号： | 200820234113.8 | 申请日： | 2008-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN201359440Y | 公开（公告）日： | 2009-12-09 |
| 发明（设计）人： | 钟华;董金卫;赵星梅;胡星强;艾伦·埃马米 | 申请（专利权）人： | 北京七星华创电子股份有限公司 |
| 主分类号： | F27D5/00 | 分类号： | F27D5/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100016*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种300mm立式氧化炉石英舟，其特征在于：设有支撑杆(1)、加强筋(2)、石英底板(3)、石英顶板(4)；所述支撑杆设有四根，竖向垂直固定在所述石英底板和石英顶板之间，其相互间隔地设置，该间隔方便硅片取放；在该支撑杆上横向设有支撑硅片的支撑齿(1.1)；在支撑杆之间，横向设有加强筋；在所述石英底板的底面设有与氧化炉保温桶联结的卡齿(4.1)。本实用新型适用于立式氧化炉中支撑硅片，具有整体性强，使用方便，具有保障工艺加工效果好的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 300 mm 立式 氧化 石英 | ||
【主权项】：
1、一种300mm立式氧化炉石英舟，其特征在于：设有支撑杆(1)、加强筋(2)、石英底板(3)、石英顶板(4)；所述支撑杆设有四根，竖向垂直固定在所述石英底板和石英顶板之间，其相互间隔地设置，该间隔方便硅片取放，在该支撑杆上横向设有支撑硅片的支撑齿(1.1)；在支撑杆之间，横向设有加强筋；在所述石英底板的底面设有与氧化炉保温桶联结的卡齿(4.1)。
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