[实用新型]300mm立式氧化炉温度场控制系统有效
| 申请号： | 200820234114.2 | 申请日： | 2008-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN201382679Y | 公开（公告）日： | 2010-01-13 |
| 发明（设计）人： | 程朝阳;徐冬;张海伦;米奇.阿伽穆罕默德 | 申请（专利权）人： | 北京七星华创电子股份有限公司 |
| 主分类号： | F27B1/26 | 分类号： | F27B1/26 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100016*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种300mm立式氧化炉温度场控制系统，设有上位机、可编程控制器PLC、固态继电器组、热电偶组和加热器；所述加热器为电热炉丝，螺旋缠绕，绝缘固定在炉内壁的内侧；所述固态继电器组，为5个固态继电器，其一端分别与炉体外的5个炉丝引线连接，另一端与电源连接；所述热电偶组为两组，一组为分布热电偶，另一组为楔形热电偶，每组为5个，设置在炉体上；分布热电偶和楔形热电偶的输出端均与所述可编程控制器PLC信号连接，PLC与上位机信号连接，PLC还与所述固态继电器组中每个固态继电器控制连接。本实用新型适用于立式氧化炉的炉内温度控制，结构完善，控制温度效果好，能保证加工质量。 | ||
| 搜索关键词： | 300 mm 立式 氧化 炉温 控制系统 | ||
【主权项】：
1、一种300mm立式氧化炉温度场控制系统，其特征在于：设有上位机(6)、可编程控制器PLC(7)、固态继电器组(2)、热电偶组(5、3)和加热器(5.1)；所述加热器为电热炉丝，螺旋缠绕，绝缘固定在炉内壁的内侧；所述固态继电器组，为5个固态继电器，其一端分别与炉体外的5个炉丝引线(4)连接，另一端与电源连接；所述热电偶组为两组，一组为分布热电偶(5)，另一组为楔形热电偶(3)，每组为5个，分别对应炉内5个温度区，分两列纵向均匀间隔设置在炉体(1)上，分布热电偶靠近石英舟，楔形热电偶靠近炉丝加热器；分布热电偶和楔形热电偶的输出端均与所述可编程控制器PLC(7)信号连接，PLC与上位机(6)信号连接，PLC还与所述固态继电器组中每个固态继电器控制连接。
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