[实用新型]聚束极和加速阳极相互位置可调的电子束区熔炉

摘要

一种聚束极和加速阳极相互位置可调的电子束区熔炉，包括上、下籽晶杆移动装置、一组真空泵和电子束区熔炉本体，熔炉本体内中心轴处置上籽晶杆、料棒和下籽晶杆，还内置有电子枪；熔炉带有端侧副室和中心副室，上、下籽晶杆分别置于两端侧副室内，电子枪单元置于中心副室内；电子枪为环形，其通过一对上、下加速阳极支架固定在炉体中心副室内，其包括：一对环形电子枪上、下加速阳极，分别接在电子枪上、下加速阳极支架上；一环形聚束极，套设在上加速阳极外且立于下加速阳极的上方，聚束极与上加速阳极间形成漂移室；一由外阴极电源为其提供加速电压可发射出电子的环状阴极钨丝，置于漂移室内。其可以克服现有电子束区熔炉聚焦调整不变的缺陷。

主权项

1、一种聚束极和加速阳极相互位置可调的电子束区熔炉，包括位于上、下两端的用于实现上、下籽晶杆移动的单元装置、一组实现电子束区域熔炼炉内真空工作环境的真空泵和电子束区熔炉本体，电子束区熔炉本体内中心轴处由上至下置上籽晶杆、料棒和下籽晶杆，电子束区熔炉本体内置有电子枪；其特征在于：所述的电子束区熔炉带有端侧副室和中心副室，上籽晶杆、下籽晶杆分别置于两端侧副室内，电子枪单元置于中心副室内；所述的电子枪为环形电子枪，其通过一对上、下加速阳极支架固定安装在炉体中心副室内；所述环形电子枪包括：一对环形体的电子枪上、下加速阳极，分别固定在电子枪上、下加速阳极支架上；一环形体的聚束极，套设在电子枪上加速阳极外且立于电子枪下加速阳极的上方，聚束极与上加速阳极间形成漂移室；一由外阴极电源为其提供加速电压可发射出电子的环状阴极钨丝，置于漂移室内。