[实用新型]一种模块化太阳能选择性涂层连续镀膜设备无效

专利信息
申请号: 200820235938.1 申请日: 2008-12-30
公开(公告)号: CN201326013Y 公开(公告)日: 2009-10-14
发明(设计)人: 丘仁政;陈汉文;罗宾 申请(专利权)人: 丘仁政;陈汉文;罗宾
主分类号: C23C14/35 分类号: C23C14/35;C23C14/56
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 518000广东省深圳*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型属于太阳能设备中集热片镀膜领域,涉及一种采用模块化设计,可以灵活进行组装调整,适合多种不同镀膜工艺的连续太阳能选择性吸收膜层镀膜生产设备。一种模块化太阳能选择性涂层连续镀膜设备,包括预处理室、至少一个工艺室组成,预处理室和工艺室中均设置有真空泵,预处理室和工艺室两端分别设置有进料口和出料口,预处理室和工艺室两端的进料口和出料口上均设置有尺寸和形状完全相同或者相互配合的连接装置,通过连接装置将预处理室和工艺室依次连接成一个整体的连续镀膜设备。本实用可以提供一种采用模块化设计使生产设备通过增减不同的工艺室或调整工艺室在生产线中的位置,实现适应多种不同生产加工工艺的新型镀膜生产设备。
搜索关键词: 一种 模块化 太阳能 选择性 涂层 连续 镀膜 设备
【主权项】:
1、一种模块化太阳能选择性涂层连续镀膜设备,包括预处理室、至少一个工艺室组成,所述的预处理室和工艺室中均设置有真空泵,预处理室和工艺室的两端分别设置有进料口和出料口,且上述的预处理室和工艺室的两端均设置有真空锁闭装置,其特征在于:所述的预处理室和工艺室的两端的进料口和出料口上均设置有尺寸和形状完全相同或者相互配合的连接装置,通过该连接装置将上述的预处理室和工艺室依次连接成一个整体的连续镀膜设备。
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