[实用新型]一种单晶棒切断机的冷却供水装置无效
申请号: | 200820302765.0 | 申请日: | 2008-11-13 |
公开(公告)号: | CN201287408Y | 公开(公告)日: | 2009-08-12 |
发明(设计)人: | 何紫平;胥敬东;丁宇翔 | 申请(专利权)人: | 湖州新元泰微电子有限公司 |
主分类号: | B28D7/02 | 分类号: | B28D7/02;B28D5/00 |
代理公司: | 贵阳中新专利商标事务所 | 代理人: | 刘 楠;程新敏 |
地址: | 313009浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种单晶棒切断机的冷却供水装置。它包括水箱(1),水箱(1)中有水(2),水箱(1)的底部经管道与水泵(3)的入口连接,水泵(3)的出口经管道与喷头(4)连接,喷头(4)的下方设有接水盘(5),接水盘(5)经管道与水箱(1)连接;水(2)为纯净水。本实用新型采用纯净水循环为单晶棒切断机的冷却供水,并增加水泵,提高了冷却水压力的稳定性,可以提高单晶片切割端面的平整度,由于纯净水对切割刀片的腐蚀作用小,因此可大大延长切割刀片的使用寿命。 | ||
搜索关键词: | 一种 单晶棒 切断 冷却 供水 装置 | ||
【主权项】:
【权利要求1】一种单晶棒切断机的冷却供水装置,其特征在于:它包括水箱(1),水箱(1)中有水(2),水箱(1)的底部经管道与水泵(3)的入口连接,水泵(3)的出口经管道与喷头(4)连接,喷头(4)的下方设有接水盘(5),接水盘(5)经管道与水箱(1)连接。
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