[发明专利]石英玻璃坩埚的制造方法以及制造装置有效
申请号: | 200880000318.2 | 申请日: | 2008-11-28 |
公开(公告)号: | CN101605732A | 公开(公告)日: | 2009-12-16 |
发明(设计)人: | 岸弘史;神田稔;森川正树 | 申请(专利权)人: | 日本超精石英株式会社 |
主分类号: | C03B20/00 | 分类号: | C03B20/00;C30B15/10 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 温大鹏 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 一种石英玻璃坩埚的制造方法,是基于旋转模塑法的制造石英玻璃坩埚的方法,其特征在于,将电极设置在相对于模中心线偏离的位置而进行电弧熔融,通过该偏心电弧,将坩埚的直体部、弯曲部以及底部的熔融中的玻璃温度的差控制在300℃以下,将该直体部以及底部的透明层的层厚控制在为弯曲部的透明层的层厚的70%至120%。 | ||
搜索关键词: | 石英玻璃 坩埚 制造 方法 以及 装置 | ||
【主权项】:
1.一种石英玻璃坩埚的制造方法,将堆积在旋转模的内表面上的石英粉电弧熔融而制造石英玻璃坩埚,其特征在于,将由多个电极形成的电弧火焰喷出方向设置在相对于模旋转中心线变位的位置上而进行电弧熔融。
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