[发明专利]放电灯、连接用线缆、光源装置及曝光装置有效
申请号: | 200880000918.9 | 申请日: | 2008-04-03 |
公开(公告)号: | CN101548133A | 公开(公告)日: | 2009-09-30 |
发明(设计)人: | 菊池孝幸 | 申请(专利权)人: | 株式会社尼康 |
主分类号: | F21V29/00 | 分类号: | F21V29/00;H01J5/50;H01J61/52;H01L21/027;F21Y101/00 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人: | 经志强;杨林森 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种对放电灯的灯头构件的冷却作用大的光源装置。其具备:放电灯,其具有收纳有用于放电的电极的玻璃管(25)和连结于玻璃管(25)的灯头部(28);连结线缆(72),连结线缆(72)的环状构件(74A)安装于放电灯的灯头部(28),并且在环状构件(74A)中形成冷风用的送风路(74Ac),经由连结线缆(72)的电力线缆(33D)及环状构件(74A)从电源(32)向灯头部(28)供应电力,经由连结线缆(72)的送风用配管(35D)及环状构件(74A)从送风装置(34)向灯头部(28)供应冷风。 | ||
搜索关键词: | 电灯 连接 线缆 光源 装置 曝光 | ||
【主权项】:
1. 一种放电灯,其在玻璃构件的内部收纳有用于放电的电极,其特征在于,所述放电灯具备:连结于所述玻璃构件的灯头构件;安装于所述灯头构件而由导电性材料形成的中继构件;固定于所述中继构件而能够经由所述中继构件向所述灯头构件供应用于放电的电力的第一线缆;设于所述中继构件而用于向所述灯头构件供应冷却用介质的流路;固定于所述中继构件而能够经由所述流路向所述灯头构件供应冷却用介质的第二线缆。
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