[发明专利]低维护涂布技术有效
申请号: | 200880000920.6 | 申请日: | 2008-09-12 |
公开(公告)号: | CN101595072A | 公开(公告)日: | 2009-12-02 |
发明(设计)人: | K·米利;A·克里什科;J·杰曼;K·哈尔蒂希 | 申请(专利权)人: | 卡迪奈尔镀膜玻璃公司 |
主分类号: | C03C17/245 | 分类号: | C03C17/245;C03C17/34;C23C14/08;C23C14/34 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人: | 于 辉 |
地址: | 美国明*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 本发明提供一种带有低维护涂层的基底。在一些实施方案中,该涂层包括含有一定厚度的含二氧化钛的膜的低维护膜,其中仅有一部分的厚度包含钨。该厚度包含内部和外部,该外部是含有钨的部分。本发明还提供沉积这种涂层的方法和设备。 | ||
搜索关键词: | 维护 技术 | ||
【主权项】:
1.一种在基底的主表面上沉积低维护涂层的溅射技术,其中所述溅射技术包括沉积一定厚度的含二氧化钛的膜,其中至少一部分的厚度含有氧化钨,并通过溅射一个或多个靶沉积,所述靶具有同时含有二氧化钛和氧化钨的可溅射材料,所述可溅射材料含有:i)氧化物形式的钨,ii)TiO,和iii)TiO2。
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