[发明专利]皮拉尼真空计

摘要

本发明提供一种皮拉尼真空计，其中改进了对急剧的压力升高的响应，并消除了对容器在待测量压力的腔室上的安装方向的限制。该皮拉尼真空计包括：金属丝制的热细丝和用于将热细丝支撑在容器中的支撑单元，其中，基于由与热细丝碰撞的气体分子从热细丝导离的热量来测量气压，其特征在于，除了延伸穿过容器的本体的第一圆筒形孔和第二圆筒形孔外，该本体填充有金属材料，热细丝被插入到第一圆筒形孔中，并且支撑单元被插入到第二圆筒形孔中。

主权项

1.一种皮拉尼真空计，其包括：金属丝制的热细丝(7)；用于支撑所述热细丝的支撑单元；以及用于收容所述热细丝和所述支撑单元的细长容器；其中，所述容器的一端设置有联接端部，所述联接端部将所述皮拉尼真空计联接到待测量压力的腔室，所述容器的另一端设置有部件(13)，所述部件将所述热细丝和所述支撑单元电连接到外部控制电路，同时将所述热细丝和所述支撑单元保持为对大气的气密封状态，所述热细丝和所述支撑单元在所述容器内沿长度方向从所述容器的一端延伸到所述容器的另一端，所述皮拉尼真空计的特征在于，除第一孔和第二孔沿长度方向延伸穿过所述容器的本体外，所述容器的本体填充有金属材料，所述第一孔和所述第二孔分别收容所述热细丝和所述支撑单元，所述容器的联接到所述待测量压力的腔室的所述联接端部具有朝所述容器的内部凹进的凹状空间，所述热细丝的一端和所述支撑单元的一端在所述凹状空间中接合。