[发明专利]没有压力爆发的高容量低温泵

摘要

一种低温泵包括具有至少第一阶段及第二阶段的冷冻机。一个辐射护罩围绕第二阶段并且与第一阶段以热相接触。辐射护罩包括有一个排出洞孔，以允许致冷流体可以在再生期间横过排出洞孔。低温泵还包括有一个主要抽吸表面，其支撑着与第二阶段以热相接触的吸附剂。该第二阶段阵列组件包括有一个主要凝结表面、具有吸附剂的受到保护的表面、以及非主要凝结表面。一个挡板配置在排出洞孔上方。挡板再次引导气体离开一个配置在辐射护罩与真空器皿间的环形空间，所述气体尝试着横过该排出洞孔，用以防止气体凝结在一个非主要凝结表面上。所述挡板引导气体凝结在主要凝结表面上。

主权项

1.一种在一真空器皿与一辐射护罩间引导流动、以控制凝结物的薄膜生成位置的方法，其特征在于所述方法包含有：阻碍来自于界定于真空器皿与辐射护罩间的环形空间的流动；再次将流动引导到一主要抽吸表面；以及将气体凝结在主要抽吸表面处来形成霜。