[发明专利]涂层剥离剂无效
| 申请号： | 200880001648.3 | 申请日： | 2008-01-03 |
| 公开（公告）号： | CN101578556A | 公开（公告）日： | 2009-11-11 |
| 发明（设计）人： | 张汝志;卢炳宏 | 申请（专利权）人： | AZ电子材料美国公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 陈 宙 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及除去硅基抗反射涂层/硬掩模层的组合物和方法。 | ||
| 搜索关键词： | 涂层 剥离 | ||
【主权项】：
1.一种剥离组合物，其包含：氟化物源；有机季铵碱；和选自有机溶剂、水、和其混合物的溶剂。
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