[发明专利]陶瓷构件及耐腐蚀性构件无效
| 申请号： | 200880001772.X | 申请日： | 2008-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN101578249A | 公开（公告）日： | 2009-11-11 |
| 发明（设计）人： | 井出贵之;安藤正美 | 申请（专利权）人： | TOTO株式会社 |
| 主分类号： | C04B35/50 | 分类号： | C04B35/50;H01L21/3065 |
| 代理公司： | 上海市华诚律师事务所 | 代理人： | 徐申民 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种高密度、粒径小的耐等离子体性优异的陶瓷构件。使陶瓷构件由微细粒子所成的微结构所构成。通过作成平均粒径为不到1.5μm，且经由阿基米德法测定得到的开口气孔率为不到0.5％，最大粒径为不到3μm所构成的陶瓷构件，使开口气孔变少，可减少作为等离子体侵蚀的起点的部位，故可提供耐等离子体性优异的陶瓷构件。并且通过以抑制异常粒子成长的小粒子构成，可降低由于发尘引起的微粒污染，可提升耐等离子体性与耐微粒特性。 | ||
| 搜索关键词： | 陶瓷 构件 腐蚀性 | ||
【主权项】：
1.一种陶瓷构件，其以三氧化二钇为主要成份，通过烧成取得，其特征为构成该陶瓷构件的粒子平均粒径为不到1.5μm，且经由阿基米德法测定得到的开口气孔率为不到0.5％。
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