[发明专利]高密度难熔金属和合金溅射靶

摘要

本发明涉及通过压制/烧结处理生产高密度难熔金属产品的方法。本发明还涉及生产溅射靶的方法以及由此生产的溅射靶。

主权项

1.一种制备高密度难熔金属产品的方法，该方法包括：a)在约10,000psi至65,000psi的压力下冷等静压制难熔金属粉末，形成压制产品，所述难熔金属粉末是选自以下的粉末：i)钼粉末，ii)钨粉末，iii)钼-钨合金粉末，iv)钼合金粉末，其中合金金属不同于钨，和v)钨合金粉末，其中合金金属不同于钼；b)在以下温度条件下加热所述压制产品：以约20-120°F/小时的速率升高到约300-1000°F的第一温度，并在所述第一温度保持约1-38小时；c)在以下温度条件下继续加热所述压制产品：以约20-120°F/小时的速率从所述第一温度升高到约1500-2800°F的第二温度，并在所述第二温度保持约1-38小时；d)在以下温度条件下继续加热所述压制产品：以约20-120°F/小时的速率从所述第二温度升高到约3000-4000°F的第三温度，并在所述第三温度保持约1-38小时；和e)将所述压制产品冷却到室温。