[发明专利]改进的粒子束发生器无效
| 申请号： | 200880003237.8 | 申请日： | 2008-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN101647085A | 公开（公告）日： | 2010-02-10 |
| 发明（设计）人： | D·A·伊斯特汉 | 申请（专利权）人： | NFAB有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/12 | 分类号： | H01J37/12 |
| 代理公司： | 北京申翔知识产权代理有限公司 | 代理人： | 周春发 |
| 地址： | 英国*** | 国省代码： | 英国;GB |
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| 摘要： | 一种粒子束生成器包括粒子提取装置，置于与粒子源相邻且可操作的从该源提取粒子进入该提取装置的提取孔隙中形成粒子束，粒子加速装置可操作的加速提取处的粒子以增加射束的能量，和聚焦装置可操作的聚焦粒子束，每个所述提取装置、加速装置和聚焦装置顺次排列并具有穿过其中的孔隙，并成一直线以限定一个约束粒子移动的通道，其特征在于该提取装置包括一个透镜结构，该透镜结构包含至少一对被一个绝缘材料层分隔的电极，允许施加不同的电压到每个该透镜结构的电极，所述电极中的一个包含具有形成于其中的提取孔隙的提取板，依靠这种提取板，依赖在源和所述提取板之间的电压差，粒子可以从粒子源发出并穿过提取孔隙。 | ||
| 搜索关键词： | 改进 粒子束 发生器 | ||
【主权项】：
1.一种粒子束发生器，包括：粒子提取装置，其置于与粒子源相邻，并且可操作的用于将粒子从该源提取至提取器孔隙中以形成粒子束，粒子加速装置，可操作的用于加速所提取的粒子以增加粒子束的能量，和聚焦装置，可操作的用于聚焦粒子束，每个所述提取装置、加速装置和聚焦装置顺次排列并具有穿过其中的孔隙，成一直线以限定一个约束粒子移动的通道，其特征在于该提取装置包括一个包含至少被一个绝缘材料层分隔的一对电极的透镜结构，允许施加不同的电压到每个该透镜结构的电极，上述电极中的一个包含一个具有形成于其中的提取孔隙的提取板，该提取板设置在依赖粒子源和所述提取板间的电压差粒子从粒子源发射并穿过提取孔隙的位置。
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