[发明专利]感光性聚酰亚胺树脂组合物无效
| 申请号： | 200880004523.6 | 申请日： | 2008-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN101606103A | 公开（公告）日： | 2009-12-16 |
| 发明（设计）人： | 野村麻美子 | 申请（专利权）人： | 索尼化学&信息部件株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/023 | 分类号： | G03F7/023;C08L79/08;G03F7/004;G03F7/075;G03F7/40;H01L21/027 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 张 萍;李平英 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的目的在于：为了使感光性聚酰亚胺树脂组合物低弹性率化并具有低翘曲性，即使在用二氨基聚硅氧烷类化合物或双(氨基苯甲酸酯)类化合物代替二胺成分的一部分时，也可以维持在常用的有机溶剂中的溶解性，使用弱碱性水溶液实现显影性。本发明的感光性聚酰亚胺树脂组合物含有聚酰亚胺树脂、氰尿酸三聚氰胺类似物和邻叠氮萘醌类似物，在弱碱性水溶液中可以正型显影且可溶于有机溶剂，所述聚酰亚胺树脂含有上式(1)的聚酰亚胺单元和式(2)或式(3)的聚酰亚胺单元；相对于100重量份聚酰亚胺树脂，含有5～50重量份氰尿酸三聚氰胺类似物。 | ||
| 搜索关键词： | 感光性 聚酰亚胺 树脂 组合 | ||
【主权项】：
1.感光性聚酰亚胺树脂组合物，其特征在于：该感光性聚酰亚胺树脂组合物含有聚酰亚胺树脂、氰尿酸三聚氰胺类似物和邻叠氮萘醌类似物，在弱碱性水溶液中可以正型显影且可溶于有机溶剂，所述聚酰亚胺树脂含有下式(1)的聚酰亚胺单元、以及式(2)或式(3)的聚酰亚胺单元；其中，相对于100重量份聚酰亚胺树脂，含有5～50重量份该氰尿酸三聚氰胺类似物，![]()
式(1)～(3)中，X和A分别独立地为单键或2价的有机基团；R1为碳原子数3～9的亚烷基；R2、R3、R4和R5分别独立地为碳原子数1～8的亚烷基或芳香族基团；R为碳原子数2～50的亚烷基或聚环氧烷基；m表示2以上的整数。
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