[发明专利]具有测长功能的扫描型电子显微镜以及试样尺寸测长方法无效
| 申请号： | 200880004555.6 | 申请日： | 2008-02-18 |
| 公开（公告）号： | CN101606216A | 公开（公告）日： | 2009-12-16 |
| 发明（设计）人： | 中村隆幸;岩井俊道;信太总一;广山三津雄 | 申请（专利权）人： | 株式会社爱德万测试 |
| 主分类号： | H01J37/28 | 分类号： | H01J37/28;H01J37/04;G01B15/00;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种具有测长功能的扫描型电子显微镜以及试样尺寸测定方法，能够减少由测定对象的图案形状引起的测长值的变动并提高测长精度。具有测长功能的扫描型电子显微镜具有：电子枪，其发射电子束；测定对象区域设定部，其设定形成在试样上的图案的测定区域；存储部，其记录所指定的测定区域；束闸部，其根据测定区域来控制电子束的照射；以及控制部，其从存储部提取所指定的测定区域，对于该测定区域以外的区域，由束闸部来阻断电子束，对于该测定区域，使通过了所述束闸部的电子束照射在试样上来取得该测定区域的图像，并进行图案的测长。也可以是，测定区域是一对测定区域，各测定区域的面积相等。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 功能 扫描 电子显微镜 以及 试样 尺寸 方法 | ||
【主权项】：
1.一种具有测长功能的扫描型电子显微镜，其特征在于，该扫描型电子显微镜具有：电子枪，其发射电子束；测定对象区域设定部，其设定形成在试样上的图案的测定区域；存储部，其记录所述指定的测定区域；束闸部，其根据所述测定区域来控制所述电子束的照射；以及控制部，其从所述存储部提取所述指定的测定区域，对于该测定区域以外的区域，由所述束闸部来阻断所述电子束，对于该测定区域，使通过了所述束闸部的所述电子束照射在所述试样上来取得该测定区域的图像，并进行所述图案的测长。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社爱德万测试，未经株式会社爱德万测试许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200880004555.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
