[发明专利]测试头操作器有效
| 申请号： | 200880005589.7 | 申请日： | 2008-02-19 |
| 公开（公告）号： | CN101720269A | 公开（公告）日： | 2010-06-02 |
| 发明（设计）人： | 赫尔曼恩·约瑟福·魏斯萨雀尔;关威;克里斯多福·L·维斯特;查理斯·保罗·纳纷;史蒂芬·J·阔威尔 | 申请（专利权）人： | 英泰斯特股份有限公司 |
| 主分类号： | B25J19/00 | 分类号： | B25J19/00;G01R31/26;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 臧建明 |
| 地址： | 美国新*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种测试头操作器系统，包括：基座结构；主臂单元，配置成支撑测试头并且相对于基座结构移动；促动器，具有动作范围L；以及加强机构，定位于主臂单元与促动器之间并且配置成使促动器所移动的第一距离引起主臂单元移动第二距离，此第二距离大于第一距离。此外，公开了一种控制测试头操作器系统的流体控制系统。此气动控制系统包括：调整器，配置成向主流体促动器可控制地提供输出压力；以及第二流体控制促动器，配置成调节此调整器以改变提供到主流体促动器的输出压力。第二促动器配置成主动地定位于至少四个操作模式中，其中每个操作模式使得调整器向主流体促动器提供不同的输出压力。 | ||
| 搜索关键词： | 测试 操作 | ||
【主权项】：
一种测试头操作器系统，包括：基座结构；主臂单元，配置成支撑测试头并且沿第一轴而相对于所述基座结构移动；促动器，沿着平行于所述第一轴的轴而具有动作范围L；以及加强机构，定位于所述主臂单元与所述促动器之间并且配置成使所述促动器所移动的第一距离引起所述主臂单元沿着所述第一轴而移动第二距离，所述第二距离大于所述第一距离。
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