[发明专利]校准方法和设备

摘要

描述了一种用于对设备进行校准的方法，所述设备包括安装在机器上的测量探头(4)。所述机器能够捕获表示所述测量探头的位置的机器位置数据(x，y，z；70；80)，所述测量探头能够捕获表示一表面相对于所述测量探头(4)的位置的探头数据(a，b，c；72；82)。测量探头(4)可以是具有可偏转的触针(14)模拟探头或者扫描探头。该方法的第一步骤包括以已知的速度相对于制品(30；40；42)移动所述测量探头(4)，同时捕获探头数据(a，b，c；72；82)和机器位置数据(x，y，z；70；80)。特别的是，所述测量探头(4)沿着一路径移动，所述路径使得能够捕获表示所述制品的表面上的两个或者多个点相对于所述测量探头(4)的位置的探头数据(a，b，c；72；82)。该方法的第二步骤包括分析机器位置数据(x，y，z；70；80)和探头数据(a，b，c；72；82)，并且从这些数据确定捕获探头数据和机器位置数据的相对延迟(即所谓的系统延迟)。

主权项

1.一种用于对设备进行校准的方法，所述设备包括安装在机器上的测量探头，所述机器能够捕获表示所述测量探头相对于一制品的位置的机器位置数据，所述测量探头能够捕获表示一表面相对于所述测量探头的位置的探头数据，所述方法包括如下步骤：(i)以已知的速度相对于所述制品移动所述测量探头，同时捕获探头数据和机器位置数据，所述测量探头沿着一路径移动，所述路径使得能够捕获表示所述制品的表面上的两个或者多个点相对于所述测量探头的位置的探头数据；以及(ii)分析在步骤(i)中捕获的机器位置数据和探头数据，并且由此确定捕获探头数据和机器位置数据的相对延迟。