[发明专利]放射线敏感性树脂组合物、液晶显示元件用隔离物和保护膜以及它们的形成方法无效
申请号: | 200880006403.X | 申请日: | 2008-02-26 |
公开(公告)号: | CN101622577A | 公开(公告)日: | 2010-01-06 |
发明(设计)人: | 长屋胜也;坂井孝广;一户大吾;浜口仁 | 申请(专利权)人: | JSR株式会社 |
主分类号: | G03F7/004 | 分类号: | G03F7/004;G03F7/028;G02F1/1339;G03F7/033 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 吴 娟;孙秀武 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 含有[A]不饱和羧酸和/或不饱和羧酸酐与不同于它们的其它不饱和化合物的共聚物、[B]聚合性不饱和化合物、[C]放射线敏感性聚合引发剂、以及[D]硝酰基化合物例如双(1-烃氧基-2,2,6,6-四甲基哌啶-4-基)癸二酸酯的放射线敏感性树脂组合物。提供可形成微细的图案、析像性能优异的放射线敏感性树脂组合物。 | ||
搜索关键词: | 放射线 敏感性 树脂 组合 液晶显示 元件 隔离 保护膜 以及 它们 形成 方法 | ||
【主权项】:
1.放射线敏感性树脂组合物,其特征在于含有:[A](a1)选自不饱和羧酸和不饱和羧酸酐的至少一种、与(a2)不同于(a1)的其它不饱和化合物的共聚物;[B]聚合性不饱和化合物;[C]放射线敏感性聚合引发剂;以及[D]硝酰基化合物。
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